【摘 要】
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本文就采用F_S=46氟塑管试制外延管路系统的方法及实际使用的工艺效果,叙述了F_S-46氟塑管制作CVD及外延工艺管路系统的优点,是可望能够取代大部分CVD及外延工艺设备中的不锈
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本文就采用F_S=46氟塑管试制外延管路系统的方法及实际使用的工艺效果,叙述了F_S-46氟塑管制作CVD及外延工艺管路系统的优点,是可望能够取代大部分CVD及外延工艺设备中的不锈钢管路的一种新材料.
In this paper, F_S = 46 fluoroplastic pipe trial production of the extension of the pipeline system and the effect of the actual use of technology described F_S-46 fluorine plastic pipe production CVD and epitaxial process piping system is expected to be able to replace most of CVD And epitaxial process equipment in the stainless steel pipe of a new material.
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