半导体电阻型CO2传感器研究进展

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半导体金属氧化物表面与气体相互作用的同时可促使材料内部载流子迁移或转化,进而影响材料导电性能,使其表现出气体敏感特性。利用n型、p型半导体金属氧化物导电性能与二氧化碳(CO2)含量之间的变化关系,开展了大量电阻型CO2传感器应用探索。通过构建半导体金属氧化物异质结构,降低传感器工作温度的同时,提高传感器选择响应特性。钙钛矿型复合氧化物半导体也表现出CO2敏感特性,基于这些半导体与CO2相互作用后电阻的变化,可以大大拓展电阻型CO2传感器的探索范围,是极具活力的CO2传感器研究领域。
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