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本文通过分析比较,提出了传统C型硅杯高压力传感器的设计方案及实验结果。
用于较高压力传感器的膜片设计与分析
【摘 要】
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本文通过分析比较,提出了传统C型硅杯高压力传感器的设计方案及实验结果。
【机 构】
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宝鸡市104信箱721001
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年1期
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