【摘 要】
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石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注.通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响
【机 构】
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上海交通大学 电子信息与电气工程学院,上海200240;上海交通大学 薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
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石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注.通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响.滴涂石墨烯并通过三组对比实验确定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥、室温真空干燥和室温自然干燥).结果 显示,室温真空干燥形成的石墨烯薄膜更为连续均匀、薄膜厚度小且电阻率更低.进一步实验得到,45℃为室温真空干燥方式的较佳干燥温度.采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备三种不同材料的微型导电线圈(铜导线、石墨烯/铜复合导线、石墨烯导线).对三种线圈的电学参数进行测试,发现石墨烯/铜复合导电线圈的电感性能有较大提高.
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