Co/C软X射线多层膜的时效研究

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软X射线多层膜是由折射系数高低不同的两种材料交替沉积而构成的一维周期结构.在软X射线多层膜的实际应用中,如显微学、宇航学和显微全息等方面,具有高反射率是十分重要的.因此,研究X射线多层膜的时间效应有实际意义.本文研究了Co/C软X射线多层膜的时间效应. The soft X-ray multilayer film is a one-dimensional periodic structure composed of two kinds of materials with different refractive index alternately deposited in the practical application of soft X-ray multilayers, such as microscopy, astronautics and micro-holographic Therefore, it is of practical significance to study the time effect of X-ray multilayers.This paper studies the time effect of Co / C soft X-ray multilayers.
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