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利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．
基于熔焊的MEM9真空封装
【摘 要】
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利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．
【机 构】
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华中科技大学微系统研究中心
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年10期
【基金项目】
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国家863高技术发展资助项目（2005AA404260）
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