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本文论述了粉粒在等离子体中的影响 ,并利用所提供的受力和加速度模型 ,进行了具体计算。最后分析了沉降时间的各种影响因素和提纯效果。
Si—Ge粉粒在冷等离子体中沉降的提纯效应分析
【摘 要】
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本文论述了粉粒在等离子体中的影响 ,并利用所提供的受力和加速度模型 ,进行了具体计算。最后分析了沉降时间的各种影响因素和提纯效果。
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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广西自然科学基金资助项目 !编号 :9912 0 0 4
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