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本文介绍了准分子激光器的基本类型、主要应用领域及其与材料相互作用的机理。对准分子激光在电子工业、生物医学和材料加工方面的一些重要应用做了比较详细的论述。
准分子激光的应用
【摘 要】
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本文介绍了准分子激光器的基本类型、主要应用领域及其与材料相互作用的机理。对准分子激光在电子工业、生物医学和材料加工方面的一些重要应用做了比较详细的论述。
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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1994年3期
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