【摘 要】
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本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2 O3陶瓷表面后 ,使其表面沉积金属Cu的技术。实验结果表明 ,Al2 O3试样浸入Cu2 SO4 溶液后 ,金属Cu膜只沉积于激光照射区。经准分子激光
【机 构】
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本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2 O3陶瓷表面后 ,使其表面沉积金属Cu的技术。实验结果表明 ,Al2 O3试样浸入Cu2 SO4 溶液后 ,金属Cu膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射 ,Al2 O3 表面结构的变化和Al富集区的产生是金属Cu沉积的主要原因。
In this paper, we studied the technology of depositing Cu on the surface of Al2 O3 ceramic by XeCl excimer laser irradiation. The experimental results show that after immersing Cu2SO4 in Al2O3 sample, the Cu film is only deposited in the laser irradiation area. Excimer laser irradiation, Al 2 O 3 surface structure changes and the production of Al-rich areas are the main reasons for the deposition of Cu.
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