【摘 要】
：
在微电子封装中,多处要使用FeCl3溶液进行蚀刻,如PCB布线,细间距引线框架等.在实际湿法蚀刻的研究中,发现使用高玻美度的FeCl3溶液蚀刻效果好.而高玻美度溶液的低温结晶现象
【机 构】
：
清华大学材料系电子材料与封装实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(69836030)
论文部分内容阅读
在微电子封装中,多处要使用FeCl3溶液进行蚀刻,如PCB布线,细间距引线框架等.在实际湿法蚀刻的研究中,发现使用高玻美度的FeCl3溶液蚀刻效果好.而高玻美度溶液的低温结晶现象比低玻美度(40°Be)要明显得多,对科学研究和生产带来较大的不利.本文分析研究了FeCl3蚀刻液失效产物和产生机制,提出了失效的温度因素、杂质离子因素、时间因素的影响过程和再恢复的方法.
其他文献
2007年四川仪陇惠民村镇银行开业以来,我国村镇银行在填补农村金融空缺、推进"三农"问题解决的同时,也面临着重重困境:商业性诱导下偏离"支农"初衷、公信力不足导致"吸储难"
<正>1、创设充满趣味的"游戏"情境,开启"乐学"的大门比如:在教学《5的乘法口诀》时,教师设计巩固练习时,设计了3个游戏情境——①学了口诀,有什么用呢?对,可以计算乘法。你能
目前新能源汽车市场保有量很少,传统营销方式已很难促进其销售数量,因此必须创新营销模式,采用新的营销模式——教育营销。首先分析了开展新能源汽车消费者教育的必要性,然后
以偏高岭土为主要原料,水玻璃为碱激发剂,双氧水为发泡剂,通过聚合反应制备外墙保温材料。本次试验以水玻璃与偏高岭土重量比、发泡剂用量和养护温度为三个主要因素设计正交
在促进学习的核心价值观下,学生自然成为了过程性评价和课堂教学的中心。学生是否参与到学习过程中,以及能否监控自身的学习,是学习成功与否的重要衡量标准。过程性评价和课
<正>21世纪是人才竞争的世纪,人才培养成为建设的重中之重。教育大计,教师为本,教师修养,立德为本。师德师风不仅关系到广大教研人员自身建设的综合素质,更关系到人才培养的
研究思路是以村镇银行试点进展出发,对银行的试点背景以及最新的全国地区的试点情况进行大略的叙述。然后深挖村镇银行对其发展产生影响的自身因素,从主发起人,产权结构,盈利
针对目前滨海地区深厚淤泥地基基础中的刚、柔性结构差异沉降优化控制问题,依托于滨海地区新建海堤与跨海大桥交叉影响案例,对刚性桩基海堤与柔性土石海堤之间差异沉降过渡段
一、重视发现,激活创新意识在数学教学中,教师要善于挖掘问题的多向性以及解决问题策略的多样性.要善于利用青少年的好奇心理,因势利导,鼓励学生大胆地去设想.教师要支持学生
<正>随着社会的不断发展,犯罪形式呈现出了高科技、高素质的特点,现场物证微量DNA在案件侦破中起着举足轻重的作用。微量DNA检验技术所具有的精确打击的特点可以给犯罪分子以