【摘 要】
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共面波导线(CPW)被广泛用于测量铁电薄膜的复介电常数。共面波导电路通常被制作在沉淀了薄膜的铝制基片上,该文分析了薄膜的复介电常数与共面波导(CPW)的尺寸与谐振频率、品
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共面波导线(CPW)被广泛用于测量铁电薄膜的复介电常数。共面波导电路通常被制作在沉淀了薄膜的铝制基片上,该文分析了薄膜的复介电常数与共面波导(CPW)的尺寸与谐振频率、品质因数之间的关系。由于铁电薄膜通常是中低损耗材料,并且厚度很薄,所以周边环境对介电常数的测量结果准确度有较大的影响。为了获得更高的测试灵敏度的同时获得更高的准确度,该文对共面波导谐振器(CPW)在不同尺寸条件下,谐振频率的改变,品质因数的变化和高次模抑制进行了分析,结果显示最优结构尺寸是共面波导的缝隙宽度(g)等于共面波导的厚度(h),同时,缝隙的宽度(g)不能超过共面波导微带线宽度的两倍(2s)。
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