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多线切割机是一种将晶棒切割成晶片的设备，近年来得到大规模使用，其切割原理为利用高速运动的切割钢线将砂浆带入切割区，砂浆中的坚硬颗粒（主要为SiC）与晶棒进行磨削，进而起到切割作用。根据锗材料的特殊性，通过改变工艺参数（主轴平均转速，砂浆流量，砂浆供给方式等）与硅材料成熟切割工艺进行对比实验，进而稳定锗材料的切割工艺。