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微机电系统的研究与分析
微机电系统的研究与分析
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuhanchi
【摘 要】
:
详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较
【作 者】
:
沈桂芬
张宏庆
韩宇
范军
付世
丁德宏
姚朋军
【机 构】
:
辽宁大学物理系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
微机电系统
微型传感器
微型执行器
MEMS
MEMS
sensor
making technology of MEMS
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详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.
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