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利用扫描探针显微镜（SPM）的导电探针在PMMA薄膜表面μm／nm尺度下通过摩擦方式产生了电荷，并用静电力显微镜（EFM）对生成的电荷进行了观察。讨论了生成电荷的极性、数量、区域大小与摩擦过程中探针加工速度、所加电压大小及正负之间的关系：产生电荷的极性与摩擦过程中针尖所加电压的正负保持一致，且所加电压越大，产生电荷的区域和面积越大。但相同情况下，PMMA表面出现的正电荷区域和数量要多于负电荷；针尖带电摩擦时，摩擦速度越快，产生电荷的数量和区域也随之减小。为探索PMMA表面电荷生成规律及生成机理提供了一种新