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基于电流变效应的超精密工件台研究与展望
基于电流变效应的超精密工件台研究与展望
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:arthur2020
【摘 要】
:
通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF的机理和应用现状,提出"基于ERF半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮导轨"纳米级超精密工件台系统.介绍了国内外
【作 者】
:
陈亚英
朱煜
【机 构】
:
清华大学精仪系制造所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
超精密工件台
电流变液ERF
半主动阻尼
ultra-precision table system
electrorheological fluid
sem
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通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF的机理和应用现状,提出"基于ERF半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮导轨"纳米级超精密工件台系统.介绍了国内外相关研究,分析了此工件台系统具有的特性及尚待解决的问题.
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