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本文研究了在微波等离子体ＣＶＤ系统中，金刚石在Ｃ６０蒸发膜表面的成核行为，观察到金刚石晶核聚集现象，并且讨论了这种成核行为的产生机理。
C60薄层作为CVD金刚石成核区的研究
【摘 要】
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本文研究了在微波等离子体ＣＶＤ系统中，金刚石在Ｃ６０蒸发膜表面的成核行为，观察到金刚石晶核聚集现象，并且讨论了这种成核行为的产生机理。
【机 构】
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湘潭大学物理系,郑州大学物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年2期
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