论文部分内容阅读
本文利用Ａｕｇｅｒ分析技术和Ｃ－Ｖ测量方法，详细地研究了ＰＥＣＶＤＳｉ３Ｎ４／ＩｎＰ界面特性，Ａｕｇｅｒ能谱分析表明热处理使界面面发生互扩散，同时ＩｎＰ的热分解导致Ｐ元素穿过Ｓｉ３Ｎ４薄膜到达表面。Ｃ－Ｖ测量表明Ａｇ／Ｓｉ３Ｎ４／ＩｎＰＭＩＳ结构可以实现载流子的堆积、耗尽和反型。
PECVD Si3N4／InP界面特性的研究
【摘 要】
：
本文利用Ａｕｇｅｒ分析技术和Ｃ－Ｖ测量方法，详细地研究了ＰＥＣＶＤＳｉ３Ｎ４／ＩｎＰ界面特性，Ａｕｇｅｒ能谱分析表明热处理使界面面发生互扩散，同时ＩｎＰ的热分解导致Ｐ元素穿过Ｓｉ３Ｎ４薄膜到达表面。Ｃ－Ｖ测量表明Ａｇ／Ｓｉ３Ｎ４／ＩｎＰＭＩＳ结构可以实现载流子的堆积、耗尽和
【机 构】
：
中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
：
1994年2期
其他文献
目前针对农业生产环节的基础设施和信息化服务水平显著滞后。表现为:农业环境要素、作物长势状况、灾害发生情况等无法实时监测;决策管理部门、各级管理人员、一线生产者和科
本文研究了傅里叶透镜的设计，并叙述了一种对称傅里叶变换透镜。在相对孔径１：１０时，输入面和频谱面处的象质均较好，傅里叶变换透镜的特点是必须对两对物象共轭位置（即位于前焦面处的输
叔本华的音乐美学主要建立在意志本体论和直观认识论的基础之上,在《作为意志和表象的世界》中,意志和表象是世界的两个面,意志作为世界的本质和最高存在,表象是意志的间接客
内生真菌是指那些在其生活史中的某一段时期内生活在植物组织内,对植物组织没有引起明显病害的真菌。近年来的研究表明,内生真菌能够产生许多结构新颖、生理活性独特的或与宿
采写现场新闻本来是我国新闻界的一个优良传统,但是,近几年来,有的新闻工作者忘记了这一传统,他们脱离群众、脱离实际,满足于“坐小车,跑‘衙门’,泡会议,住宾馆,摘简报”,有
城市轨道交通具有运能大、运行可靠、安全环保等诸多优点,是特大城市、大城市缓解城市拥堵、提高公交服务水平,以及实现TOD发展的最优选择。尽管如此,如何在轨道快速建设背景下,优化客流分布,培育新线客流,促进轨道沿线和站点周边用地开发,依然是城市交通发展面临的严峻问题。同时,轨道交通出行是一种典型的多方式组合出行,除了轨道主体外,包含接入和接出两大过程,使得轨道出行问题分析面临各种困难和挑战。横向对比轨
纵观张翼健先生的语文教育思想,一以贯之的语文教育理念是:语文教育首先是“人”的教育,这是语文教育之本;语文教育改革的根基是语文教育民族化,语文教育改革的出路就在于此
针对钢铁企业中典型的燃油三段连续式加热炉控制参数中最为复杂的残氧量参数进行了探索和研究,分析了残氧量控制对象的特性、检测点的选取并介绍了用PLC实现的残氧量的控制方
7月上《电脑迷》曾经介绍华硕P5Q系列主板采用了16/8相处理器供电,更多供电相位,带来的是电源利用率的问题。针对这个问题,华硕推出了EPU-6引擎技术,能够为主板实现全方位节