【摘 要】
：
为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10-1 ～10-10)pa·m3/s的标准气体流量计.装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块
【机 构】
：
北京市真空计量检测工程技术研究中心 北京100029北京东方计量测试研究所 北京100086;中国航发南方工业有限公司 湖南412002;
论文部分内容阅读
为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10-1 ～10-10)pa·m3/s的标准气体流量计.装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量.采用容积约为5和0.1L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10-10 m3/s流导元件.设计的装置外形尺寸不超过500mm×400mm ×500mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10-1 ～10-10) Pa· m3/s,具有成本低、操作方便、便携等优点.
其他文献
摘要：现阶段，我国正处于公路发展的飞速时期，我国高速公路施工的安全管理并没有跟上发展的节奏，安全事故屡有发生，形势严峻。笔者对存在于我国高速公路施工安全管理中的问题做了具体的分析及探讨，吸收国外发达国家的相关经验，有助于提升我国高速公路施工安全管理的水平。 关键词：公路施工；安全；对策 Abstract: at present, our country is in the highway de
近数月来,报纸上以相当大量的篇幅,阐述和讨论了这么一系列问题:实践是检验真理的唯一标准,按照客观规律办事,坚持社会主义民主原则,加强社会主义法制等等。这是深入揭批万
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
使用扫描电子显微镜和光学显微镜研究了电磁场与TiB2纳米粒子作用下CuAlMn形状记忆合金的晶粒细化机理.结果 表明:TiB2纳米粒子与CuAlMn形状记忆合金基体的最小二维错配度是5
采用真空自耗熔炼制备Ti-22V-10Cr-2Zn-xY合金,并对其进行挤压和热处理.通过实验测试的手段研究不同Y元素添加量下钛合金的组织,力学性能,热稳定及蠕变性能.研究结果表明:加
摘要：人类社会的发展离不开能源的发展，人类文明进步的1个重要方面就是对能源的利用。从能源发展的历程出发，探讨了不同阶段能源对社会发展的作用与贡献。 关键词：能源；发展历程；社会进步；作用 Abstract:the development of human society cannot leave the energy development, the progress of human civ
应对我国保险市场的持续增长，各保险企业为快速抢占市场份额，大面积铺设分支机构，与此同时轻忽运营管理、风险控制能力，造成机构人员臃肿、层级繁多、风险分散、控制能力弱，经营成
正方一辩辩词rn20世纪,遥感技术的产生运用与发展是人类向前迈进的一大步.21世纪的今天,人们日益增长的生产生活需求对我们的遥感工作者提出了新的挑战.针对今天的辩题,我方
在有机基体表面等离子体增强化学气相沉积(PECVD) Al2O3薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品质的Al2O3薄膜是提高阻隔性的关键因素之一.脉冲射频等离子体增强化学气相沉积