采用表面技术改善气敏薄膜特性

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对镀Pt的Fe2O3/SnO2双层气敏薄膜进行了SEM和XPS分析,表明贵金属表面修饰技术对敏感薄膜的改性作用。对制成的元件进行了测量,证实了表面技术对敏感薄膜的灵敏度,选择性及稳定系数等主要性能指标都有一定程度的改善。
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