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[学位论文] 作者：东立剑,,
来源： 年份：2013
在风电齿轮箱中，行星架作为扭矩输入端的零件所受载荷最大，其结构性能不仅影响沿齿宽方向的载荷分布，而且影响行星轮间载荷分布的均匀性，是风电齿轮箱中最为关键的零件之一，所以对......
[期刊论文] 作者：赵磊,彭海峰,于新峰,东立剑,,
来源：光电工程 年份：2015
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结...
[期刊论文] 作者：东立剑,崔庆龙,李朋志,赵磊,,
来源：光学学报 年份：2017
光刻物镜硅片刻蚀过程中的Z5像散会使光刻物镜波像差产生严重的劣化。为了对像散进行实时补偿,提出一种Z5像散主动补偿系统。该系统由实时数据平台、驱动力系统、柔性支撑结...
[期刊论文] 作者：张德福,李显凌,东立剑,孙振,,
来源：光子学报 年份：2015
为了找出耦合误差产生的根源，探讨了柔性偏心机构设计方法．首先，给出了机构组成和工作原理；然后，基于柔度矩阵法对机构建模，分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度......
[期刊论文] 作者：赵磊,梁超,张德福,东立剑,彭海峰,,
来源：光学精密工程 年份：2016
针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模...
[期刊论文] 作者：吴志会,王东平,华洋洋,倪明阳,东立剑,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2015
可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型,利用有限元法计算光学元件的变形,并对...
[期刊论文] 作者：东立剑,袁文全,吴志会,倪明阳,张巍,,
来源：机械与电子 年份：2015
采用数值模拟的方法开展光刻物镜镜组的跌落分析,结合数值寻优的方式,以光刻物镜所能承受的最大加速度为约束条件确定缓冲结构的尺寸参数,并通过跌落实验验证数值仿真的准确...
[期刊论文] 作者：张德福,李显凌,芮大为,李朋志,东立剑,张建国,,
来源：中国科学:技术科学 年份：2017
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升...
[期刊论文] 作者：东立剑,赵磊,张德福,于新峰,倪明阳,李显凌,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2015
为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能...
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