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[期刊论文] 作者：孙超,赵磊,李连峰,何祝可,王显磊,孙逸飞,龚清华,施俊卿,,
来源：名城绘 年份：2018
CF BM peeling就是在制造BM的过程中,由于BM光阻与基板的附着力不够,造成BM大面积缺失的现象。由于BMpeeling会造成基板和材料的浪费,影响产线的产能,BMpeeling改善就是一个...
[期刊论文] 作者：孙超 赵磊 李连峰 何祝可 王显磊 孙逸飞 龚清华 施俊卿 谢颖,
来源：名城绘 年份：2018
摘要：CF BM peeling 就是在制造BM的过程中，由于BM 光阻与基板的附着力不够，造成BM 大面积缺失的现象。由于BM peeling 会造成基板和材料的浪费，影响产线的产能，BM peeling改善就是一个急需解决的问题。 关键词： BM peeling 光阻材料 基板 附着力 预烘烤 曝光 显影......
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