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[会议论文] 作者：何禄宽,
来源：2004年全国电子专用化学品高新技术与市场研讨会 年份：2004
超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀。具有品种多、用量大、技术要求高等特点。在现阶段，集成......
[期刊论文] 作者：葛继三,何禄宽,
来源：半导体技术 年份：1998
以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要......
[期刊论文] 作者：葛继三,何禄宽,董素娟,
来源：半导体技术 年份：1998
以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要......
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