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[学位论文] 作者：冯庆浩,,
来源：大连理工大学 年份：2006
多晶硅（Poly-Si）薄膜以其优异的光电性能与较低的制备成本在能源信息产业中,日益成为一种非常重要的电子材料,在大规模集成电路和半导体分立器件中得到广泛应用。为降低Poly-Si...
[期刊论文] 作者：冯庆浩,
来源：传奇故事 年份：2021
教育部自2017年起将小学科学课从原来的三年级开设改为从一年级开始,体现了国家逐渐对小学科学课的重视.由于我国小学科学课起步较晚,很多方面存在漏洞,其中课程资源的开发与利用就存在很多不足的地方,特别是对小学科学校外课程资源的开发与利用.其中很多学校没......
[期刊论文] 作者：冯庆浩,秦福文,吴爱民,王阳,,
来源：半导体技术 年份：2006
采用ECR-PECVD低温沉积方法，以质量分数为5％的SiH4（配Ar气，SiH4：Ar=1：19）和H2为反应气体，在普通玻璃和单晶硅片衬底上直接沉积多晶硅薄膜，以期寻找到适合大规模工业化生产的方法。当衬......
[期刊论文] 作者：王艳艳,秦福文,吴爱民,冯庆浩,,
来源：半导体光电 年份：2006
在自行设计研制的先进的电子回旋共振（ECR）等离子体增强化学气相沉（PECVD）装置上，采用ECR-PECVD可控活化低温外延技术，以SiH4＋H2为气源，硅和普通玻璃为衬底，低温（小于等于550℃）制备多晶......
[会议论文] 作者：秦福文,吴爱民,王艳艳,冯庆浩,李伯海,
来源：2006北京国际材料周暨中国材料研讨会 年份：2006
在自行设计研制的先进电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉(PECVD)装置上,采用"ECR-PECVD"可控活化低温外延技术,以SiH4+H2为气源,硅和普通玻璃为衬底,低温(≤550℃)制备多晶硅薄膜.利用反射高能电子衍射(RHEED)、透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)......
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