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[期刊论文] 作者:吕反修,, 来源:金属热处理 年份:2008
CVD金刚石膜研究已经持续了30余年,但仍然充满活力,新的研究方向不断出现。纳米(和超纳米)金刚石膜、金刚石膜MEMs(微机电系统)和NEMs(纳机电系统)应用、大尺寸CVD金刚石单晶...
[期刊论文] 作者:吕反修,, 来源:超硬材料工程 年份:2014
在热丝CVD(HFCVD),微波等离子体CVD(MWCVD),直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)和燃烧火焰沉积(Flame Deposition)四种应用最广泛的金刚石膜制备方法中,DC Arc Plasma...
[期刊论文] 作者:吕反修,, 来源:材料热处理学报 年份:2010
化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期...
[会议论文] 作者:吕反修,, 来源: 年份:2004
CVD和PVD TiN,TiC,TiCN,TiAlN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合金,各种有色金属及其合金,...
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:热处理 年份:2004
CVD和PVD TiN,TiC,TiCN,TiAIN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合金,各种有色金属及其合金,工程...
[会议论文] 作者:吕反修,, 来源: 年份:2004
化学气相沉积(CVD)金刚石大单晶生长与应用是近年来在CVD金刚石膜研究领域最重要的研究进展之一。CVD金刚石单晶是以高温高压(HPHT)合成金刚石单晶(Ib型)为衬底,通过CVD同质...
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:新材料产业 年份:2003
在863计划的大力支持下,我国CVD金刚石膜研究在工具、热沉和光学应用等方面都取得了十分显著的进展,不仅显著缩小了与先进工业化国家的差距,而且已使我国开始进入产业化应用进程......
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:物理 年份:2003
纳米金刚石膜的制备、表征和应用研究已经成为CVD金刚石膜研究领域的一个新的热点 .文章重点介绍了Gruen等人在贫氢和无氢环境中制备纳米金刚石膜的开创性工作 ,并和在富氢气...
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:物理 年份:1995
简要地总结了CVD金刚石膜技术近期研究与开发情况,讨论了金刚石膜工具的热学应用、光学应用及电子学的现状,芨发展趋势,金刚石膜工具的应用是近期具有最大市场的应用。但随首在沉积......
[期刊论文] 作者:吕反修,, 来源:航空制造技术 年份:2009
20多年来,CVD金刚石厚膜焊接工具和薄膜涂层工具的研究都已取得了十分显著的进展,关键性的技术问题已经基本解决,相关产品已经得到实际应用,近年来在国内外均已出现CVD金刚石工具......
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:中国表面工程 年份:2003
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:中国表面工程 年份:2010
以"表面工程的发展与开拓创新"为主题的第八届全国表面工程学术会议暨第三届青年表面工程学术论坛于2010年4月25~27日在北京胜利召开。共有来自全国各地及波兰、英国、...
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:金属世界 年份:1992
[期刊论文] 作者:吕反修,, 来源:中国表面工程 年份:2010
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一;在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景。综述了北京科技大学近年来在CVD...
[会议论文] 作者:吕反修;, 来源:第九次全国热处理大会 年份:2007
直流电弧等离子体是一种接近热力学平衡的等离子体,气体温度和离化率都非常之高,因此作为金刚石膜化学气相沉积的活化源有其独特的优势,可实现大面积高质量金刚石膜的高速沉积。......
[会议论文] 作者:吕反修, 来源:1998年中国材料研讨会 年份:1998
[会议论文] 作者:吕反修, 来源:第七次全国热处理大会 年份:1999
简要地总结了CVD金刚石膜技术近期研究与开发情况。讨论了金刚石膜工具,热学应用,光学应用,及电子学应用的现状、进展及发展趋势。金刚石膜工具是近期的最大市场应用。但随着沉积技......
[期刊论文] 作者:吕反修, 来源:新材料产业 年份:2003
摘 要 在863计划的大力支持下,我国CVD 金刚石膜研究在工具、热沉和光学应用等方面都取得了十分显著的进展,不仅显著缩小了与先进工业化国家的差距,而且已使我国开始进入产业化应用进程。目前国内已有一些小型高技术型公司和企业出现,但大都仅局限于金刚石厚膜工具......
[期刊论文] 作者:王建军,吕反修, 来源:人工晶体学报 年份:1997
研究了在H2-CH4-CO2气相系统中金刚石薄膜的沉积情况。随着CO2浓度的增大,金刚石薄膜二次成核现象减少,晶体形态趋于完整,薄膜质量变化;随着CO2、CH42的同时增大,金刚石薄膜农渐从完整晶体形态变为菜花......
[期刊论文] 作者:王建军,吕反修, 来源:高技术通讯 年份:1993
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