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[期刊论文] 作者:李妍君,李颖,吴丁民, 来源:仪表技术与传感器 年份:2000
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求......
[期刊论文] 作者:李妍君,李颖,吴丁民, 来源:仪表技术与传感器 年份:1998
本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中,为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施,使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品......
[期刊论文] 作者:李妍君,乔文华,吴丁民, 来源:仪表技术与传感器 年份:1995
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5%。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平...
[会议论文] 作者:李颖,李妍君,吴丁民,章学群, 来源:第六届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1999
微差压传感器采用EI型膜片结构,其膜片成型技术包括两方面的内容,正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM,该文通过对这一技术的叙述,介绍了微差......
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