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[学位论文] 作者:姜鑫先,, 来源:北京理工大学 年份:2015
射频空心阴极放电可以产生高密度等离子体,因而被认为是有望实现快速沉积微晶硅薄膜的有效方法之一。本文对射频空心阴极放电的放电特性和放电维持机制进行了实验和模拟研究,并......
[期刊论文] 作者:姜鑫先,王春晓,何锋,陈强,欧阳吉庭,, 来源:城市道桥与防洪 年份:2014
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[会议论文] 作者:何锋,姜鑫先,何寿杰,欧阳吉庭, 来源:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份:2013
引言空心阴极放电具有维持电压低、高电流密度、高离子密度等特点,在光源、光谱分析、航天推力器等领域都获得了应用.空心阴极还可以在低气压射频放电中提高等离子体的密度,增加薄膜沉积或材料表面处理的速度.小尺寸的空心阴极放电也是一种可实现大气压下大面积......
[会议论文] 作者:葛腾,陈玖香,姜鑫先,张授业,陈强, 来源:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份:2013
随着薄膜太阳能电池的兴起,微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注,而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电,利用等离子体增强化学气相沉积技术,以二氯二氢硅(SiH2Cl2)为前驱......
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