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[期刊论文] 作者：李华胜,廖佐升,
来源：微细加工技术 年份：1988
本文主要阐述了研制SPD—500D型rf电源的设计思想、电气原理及其在工业、科研中的应用。This article describes the development of SPD-500D rf power supply design, el...
[期刊论文] 作者：杨基南,廖佐升,
来源：微细加工技术 年份：1990
低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。...
[期刊论文] 作者：唐勇,袁章其,廖佐升,,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
传动系统是烘干／烧结设备中传输工件的关键机构，是维持设备连续正常运转、确保工艺效果的重要保障。根据项目的需要，借鉴了以往开发经验，设计开发出一种烘干／烧结炉的传动系统．各项......
[期刊论文] 作者：杨基南,廖佐升,吴京波,魏庆生,
来源：微细加工技术 年份：2004
低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。Low-pressure gas-phase...
[期刊论文] 作者：孙亦宁,恽辉中,杨基南,廖佐升,吴京波,魏庆生,
来源：微细加工技术 年份：1992
采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)设备,在单晶硅衬底上沉积了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积...
[期刊论文] 作者：孙亦宁,恽辉中,杨基南,廖佐升,吴京波,魏庆升,,
来源：真空与低温 年份：1992
采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积设备(ECRCVD),在单晶硅片上沉积出了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),X 射线衍射仪(XRD),激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积...
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