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[期刊论文] 作者:张赞彬,, 来源:集成电路应用 年份:2006
浸没式光刻和亚波长光刻技术的引进,光刻变得更为复杂;随着光阻厚度变薄和亚波长透镜的使用.对缺陷进行有效管理的需求逐渐增加。本文侧重于用PCM(Photo Cell Monitoring)缺陷检测......
[期刊论文] 作者:张赞彬,, 来源:集成电路应用 年份:2006
当晶圆厂转向300mm、130纳米和90纳米工艺,并随着新的材料和工艺方法的引进,都为成品率管理带来独特的挑战和机会,那就是如何确保300mm晶圆缺陷计划的新重点。...
[会议论文] 作者:张赞彬,缪存铅,宋庆, 来源:2009上海市食品学会学术年会 年份:2009
本文以冷冻干燥后的卵磷脂为主料,采用干法制粒研制出高卵磷脂含量,不带腥味,口感较好、适于咀嚼的片剂。通过对卵磷脂原料的冷冻干燥预冻温度、冷冻干燥的时间和最佳处理量进行研究,确定最佳的卵磷脂原料脱水处理工艺。结果表明最佳条件为:冷冻干燥条件为预冻温度-3......
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