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当晶圆厂转向300mm、130纳米和90纳米工艺，并随着新的材料和工艺方法的引进，都为成品率管理带来独特的挑战和机会，那就是如何确保300mm晶圆缺陷计划的新重点。
中国300mm晶圆厂的成品率管理
【摘 要】
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当晶圆厂转向300mm、130纳米和90纳米工艺，并随着新的材料和工艺方法的引进，都为成品率管理带来独特的挑战和机会，那就是如何确保300mm晶圆缺陷计划的新重点。
【机 构】
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美国科天中国公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年9期
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