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[期刊论文] 作者：张金驰,李德杰,
来源：微细加工技术 年份：2000
为用自对准技术制作聚焦型发射阵列（ＦＦＥＡ）的聚焦极，要求ＦＦＦＡ的电阻层能通过光刻用近紫外光。为此提出用共溅射法制作Ｎｉ－ＳｉＯ２金属陶瓷电阻层。研究结果表明，当适当调整Ｎｉ和ＳｉＯ２成份比例，可得到既能满足方......
[期刊论文] 作者：刘广玉,张金驰,
来源：仪器仪表学报 年份：1986
本文讨论了用于谐振压力传感器的谐振膜的频率特性。文中导出了谐振膜的非线性运动微分方程式(式中含有弯曲应力、中面张力和浅壳的影响),并用变分法求得近似解。求得的理论...
[期刊论文] 作者：王炜,李德杰,姚保纶,张金驰,
来源：微细加工技术 年份：2000
提出了一种新型的分布串联横向电阻Spindt型FEA的制作工艺。通过溅射的办法制备了各层电极、绝缘层以及FEA电阻层。利用磁增强反应离子刻蚀设备 ,刻蚀出Mo薄膜电极图案和直径...
[期刊论文] 作者：张金驰,李德杰,葛常锋,姚宝纶,
来源：微细加工技术 年份：2000
为用自对准技术制作聚焦型发射阵列 (FFEA)的聚焦极 ,要求FFEA的电阻层能透过光刻用近紫外光。为此提出用共溅射法制作Ni SiO2 金属陶瓷电阻层。研究结果表明 ,当适当调整Ni...
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