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[期刊论文] 作者：徐丰仁,,
来源：机床与液压 年份：1989
多孔质静压气体轴承是一种有无数微小供气孔分布在轴承工作表面上而供气的空气轴承,它与多数供气孔静压轴承相比,负载能力大、刚度高。可是,多孔质材料其烧结成形表面的...
[期刊论文] 作者：徐丰仁,
来源：机床与液压 年份：1989
一、静压轴颈轴承设计多孔质静压气体轴颈轴承结构尺寸示意图如图10所示,同静压滑动止推轴承一样,假定忽略多孔质材料的内部阻抗,并假定只有内孔进行过阻塞处理,因此具...
[期刊论文] 作者：徐丰仁,,
来源：机床与液压 年份：1989
一、静压轴颈轴承设计多孔质静压气体轴颈轴承结构尺寸示意图如图10所示,同静压滑动止推轴承一样,假定忽略多孔质材料的内部阻抗,并假定只有内孔进行过阻塞处理,因此具有节...
[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,
来源：北光通讯 年份：1989
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[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,
来源：电子工业专用设备 年份：1990
绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,...
[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,
来源：电子工业专用设备 年份：1992
自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支...
[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,
来源：机床与液压 年份：1989
一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支承排入大气,不污染环境和光电器件,不必...
[期刊论文] 作者：张翠林,徐丰仁,
来源：微细加工技术 年份：1989
为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验...
[会议论文] 作者：潘晋,徐丰仁,沈钊,
来源：1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会 年份：1988
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[会议论文] 作者：潘晋,徐丰仁,沈钊,
来源：中国仪器仪表学会精密机械学会精密机械系统与元件设计专委会第二届学术会 年份：1989
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[会议论文] 作者：徐丰仁,沈钊,安旭,
来源：1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会 年份：1988
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[会议论文] 作者：潘晋,沈钊,徐丰仁,
来源：第五届全国摩擦学术会议 年份：1992
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[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,沈钊,,
来源：机床与液压 年份：1989
一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支承排入大气,不污染环境和光电器件,不必采用...
[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,沈钊,
来源：电子工业专用设备 年份：1990
绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,适应...
[期刊论文] 作者：潘晋,徐丰仁,沈钊,
来源：电子工业专用设备 年份：1992
自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支...
[期刊论文] 作者：赵立人,徐丰仁,沈钊,,
来源：半导体设备 年份：2004
自六十年代初剑桥大学A.N.Broers在第六届三束国际会议上发表了可以利用电子束进行微细加工的理论和实验之后,68年美国OKeeffe等人提出采用电子束投影成像曝光法制作集成电...
[期刊论文] 作者：徐丰仁,穆怀喆,沈钊,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：1987
本文简述了工作台闭式气浮导轨的理论分析与实验研究的结果。研制实践表明；闭式气浮导轨具有精度高、刚度高、稳定性好等特点，满足了高速高精度工作台的要求。本文采用有限差分......
[会议论文] 作者：安旭,穆怀哲,徐丰仁,
来源：全国第一届精密机械系统与元件设计学术会 年份：1986
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[期刊论文] 作者：穆怀哲,徐丰仁,沈钊,,
来源：机床与液压 年份：1987
一、导言本文所讨论的内容主要是闭式气浮导轨特性的理论分析与实验研究。目的是进一步了解闭式气浮导轨的性能并加以提高。闭式气浮导轨具有精度高,刚度高,稳定性好的特点,...
[期刊论文] 作者：潘晋,沈钊,徐丰仁,周昌恩,,
来源：光学机械 年份：1992
采用等参有限元伽辽金法计算自吸式气体支承的性能,同时在单片机控制气体静压支承实验装置上进行实验研究。从而为支承的设计提供了理论基础。...
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