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[会议论文] 作者:徐筱乐,贾洁,黄云,高建峰, 来源:第六届全国毫米波亚毫米波学术会议 年份:2006
GaAs MMIC由GaAs衬底上多种材料结合构成.由于器件结构,工艺过程和材料特性等原因.在器件结构中存在一定的材料应力,应力对器件的性能、可靠性以及制造工艺成品率均有不同程度的影响.通过对GaAs MMIC钝化介质膜氮化硅的研究,分析应力的产生、组成以及影响因素,......
[期刊论文] 作者:康耀辉,徐筱乐,高建峰,陈辰,, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2012
应用电子束直写技术成功制作了栅长100nm的高性能In。:Al0.48As/In。。Ga0.47AsGaAsMHEMT(渐变组分高电子迁移率晶体管)。从工艺角度,结合器件的小信号等效电路的理论分析,优化了器......
[期刊论文] 作者:钮利荣,徐筱乐,蒋幼泉,杨端良, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2002
对移动通信用单刀双掷开关制作工艺中的GaAs全离子注入技术进行了实验比较和讨论,认为76 mmGaAs圆片经光片注入Si离子后包封40 nm SiO2+60 nm SiN进行快速退火再进行B离子...
[会议论文] 作者:钮利荣,徐筱乐,蒋幼泉,杨端良, 来源:2001全国微波毫米波会议 年份:2001
对手机用砷化镓射频开关制作工艺中的离子注入及其退火技术进行了实验,认为φ76mm砷化镓圆片经光片注入Si离子后包封40nm SiO+60nm SiN进行快速退火的工艺方法先进,表面物理...
[期刊论文] 作者:任春江,陈堂胜,柏松,徐筱乐,焦刚,陈辰,, 来源:半导体学报 年份:2008
利用ICP对研制的SiC衬底上Al GaN/GaN HEMT刻蚀获得了深度为50μm的接地通孔.器件通孔制作前首先用机械研磨的方法将衬底减薄至50μm,在背面蒸发Ti/Ni并电镀Ni至3μm作为刻蚀...
[期刊论文] 作者:蔡纯, 刘旭, 肖金标, 丁东, 张明德, 孙小菡, 徐筱乐, 来源:红外与毫米波学报 年份:2005
基于四端口谐振腔滤波理论,采用时域有限差分法(2D-FDTD)对环行谐振腔的滤波特性进行数值仿真,仿真结果给出多模干涉(MMI)耦合长度与滤波特性的关系.所制作的两种GaAlAs/GaAs...
[期刊论文] 作者:邹鹏辉,黄念宁,王彦硕,高建峰,林罡,徐筱乐,, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2015
通过在不同的速率下蒸发相同厚度的Ti金属薄膜,研究电子束蒸发速率对Ti膜表面形貌和性能的影响。试验表明随着Ti蒸发速率的提高,薄膜表面没有明显差别,但薄膜的结构变得致密,...
[期刊论文] 作者:曹春海, 徐筱乐, 何世明, 周建明, 刘兴钊, 王烨, 李, 来源:低温物理学报 年份:2005
研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GH...
[期刊论文] 作者:曹春海,杨名,杨森祖,徐筱乐,尤立星,吉争鸣,康琳,许伟伟,, 来源:低温物理学报 年份:2003
在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结,采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶,结的特性与SNS结类似,9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro...
[期刊论文] 作者:曹春海, 徐筱乐, 何世明, 周建明, 刘兴钊, 王烨, 李言容, 来源:低温物理学报 年份:2005
[期刊论文] 作者:蔡纯,刘旭,肖金标,丁东,张明德,孙小菡,徐筱乐,陈堂胜,李拂晓, 来源:红外与毫米波学报 年份:2005
基于四端口谐振腔滤波理论,采用时域有限差分法(2D FDTD)对环行谐振腔的滤波特性进行数值仿真,仿真结果给出多模干涉(MMI)耦合长度与滤波特性的关系.所制作的两种GaAlAs/GaAs...
[会议论文] 作者:蔡纯,肖金标,刘旭,丁东,张明德,孙小菡,徐筱乐,陈堂胜,李拂晓, 来源:全国第十一次光纤通信暨十二届集成光学学术会议(OFCIO2003) 年份:2003
基于四端口谐振腔滤波理论,采用时域有限差分法(2D-FDTD)数值仿真了多模干涉(MMI)耦合型滤波器以及4矩形谐振腔串联滤波器的特性;设计和制作了GaAlAs/GaAs平面波导串联型4矩形谐振腔窄带滤波器,获得其滤波特性,测试结果与仿真结果有着较好的符合.......
[期刊论文] 作者:曹春海,徐筱乐,何世明,周建明,刘兴钊,王烨,李言容,李拂晓, 来源:低温物理学报 年份:2005
研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GH...
[会议论文] 作者:曹春海,徐筱乐,周建明,王烨,李拂晓,何世明,刘兴钊,李言容, 来源:第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议 年份:2004
研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GH...
[期刊论文] 作者:曹春海,杨名,杨森祖,徐筱乐,尤立星,吉争鸣,康琳,许伟伟,吴培亨, 来源:第七届全国超导学术研讨会 年份:2003
在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结.采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶.结的特性与SNS结类似.9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro...
[会议论文] 作者:曹春海,杨名,杨森祖,尤立星,吉争鸣,康琳,许伟伟,吴培亨,徐筱乐, 来源:第七届全国超导学术研讨会 年份:2003
在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结.采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶.结的特性与SNS结类似.9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro...
[期刊论文] 作者:蔡纯,刘旭,肖金标,马长峰,陈麟,丁东,张明德,孙小菡,徐筱乐,陈堂胜,李拂晓, 来源:中国工程科学 年份:2004
基于四端口谐振腔滤波理论 ,采用二维时域有限差分法 (2D -FDTD)数值仿真了矩形谐振腔的滤波特性 ,分析了串联谐振腔的个数与滤波特性的关系 ;设计和制作了GaAlAs/GaAs平面波...
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