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[期刊论文] 作者：麻莉雯,杨铁三,王启祥,
来源：电工电能新技术 年份：1985
80 W 2537A远紫外光源是在电子束投影曝光机中做为光电子激发源。市售15—25W2537A光源,在光强和光辐照大面积均匀性等方面均不能满足要求。经对其放电参数、几何形状、灯材...
[期刊论文] 作者：游本章, 黄经筒, 齐克修, 杨铁三,,
来源：电工电能新技术 年份：2004
我们在研究离子镀膜技术的过程中,实验成功高压单脉冲引弧方法,用于引燃离子镀膜机中的直流电弧。高压单脉冲引弧方法同目前现有的直流高压引弧方法和高频引弧方法相比,具有...
[期刊论文] 作者：黄经筒,吴振华,张祥龄,游本章,杨铁三,方国成,柏仲茹,齐克修,
来源：微细加工技术 年份：1986
本文介绍电子束投影复印曝光机的结构和性能。此复印曝光机的特点是采用电子束能够同时曝光大面积的图形,复印图形的面积为φ50毫米,最高分辨率为0.5微米。此复印曝光机可在...
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