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[学位论文] 作者:江胜峰,,
来源: 年份:2006
随着微电子和微机械加工技术的发展,研制尺寸小、重量轻、功耗低、响应快且易与IC(Integrated Circuit)集成的微热板式气压传感器成为可能并受到重视。在国内,对半导体固态压...
[期刊论文] 作者:高仁璟,唐祯安,张凤田,王海霞,江胜峰,
来源:中国微米纳米技术第七届学术年会 年份:2005
本文研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1~100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信......
[会议论文] 作者:张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,江胜峰,
来源:第十一届全国实验力学学术会议 年份:2005
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传感器,可以测量微小气压.详细介绍了热传感器...
[会议论文] 作者:张凤田,唐祯安,金仁成,余隽,江胜峰,
来源:第十一届全国实验力学学术会议 年份:2005
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传感器,可以测量微小气压.详细介绍了热传感器...
[期刊论文] 作者:江胜峰,金仁成,唐祯安,张凤田,高仁璟,
来源:中国机械工程 年份:2005
根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在...
[期刊论文] 作者:张军,马燕平,王东,江胜峰,闵敏,朱艳华,
来源:当代经济 年份:2005
市场经济条件下,根据企业内外的各种条件和影响因素,选择现实的经营战略。企业战略从不同角度可以有不同的划分方式,其中,从企业内部层次分:公司战略、事业(业务)战略和职能战略;从......
[期刊论文] 作者:高仁璟,唐祯安,张凤田,王海霞,江胜峰,GaoRenjing,
来源:中国机械工程 年份:2005
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[期刊论文] 作者:江胜峰,金仁成,唐祯安,张凤田,高仁璟,JiangSheng,
来源:中国机械工程 年份:2005
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[期刊论文] 作者:张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,高仁璟,江胜峰,
来源:半导体学报 年份:2005
研制了一种采用CMOS工艺和表面牺牲层技术加工的微热板式低气压传感器,该微热板为四臂支撑悬空矩形板,其边长为75μm,支撑桥长为60μm,板下气隙高度为0.5μm。采用经典傅里叶传热......
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