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[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:传感器技术 年份:1988
本文给出了采用硅各向异性腐蚀的阳极氧化自动终止技术研制微压方膜、圆膜硅杯的技术方案,讨论了器件表面SiO_2与Al膜厚对微压传感器零位温漂的影响规律及其应采取的工艺措施...
[期刊论文] 作者:温殿忠,, 来源:黑龙江大学工程学报 年份:2011
黑龙江大学微电子学与固体电子学学科,是在1972年成立的半导体器件专业的基础上发展起来的,1986年国务院学位办授予该学科硕士学位授予权。同年,经省人事厅批准为省级重点学科,20......
[期刊论文] 作者:温殿忠,, 来源:传感技术学报 年份:2007
提出了一种电磁谐振式微泵电感线圈组件的新制造方法,该方法在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金膜形成的欧姆接触电极作为内引线.我们设计了硅基电感的结构和相关的工艺流程,再利用......
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:电子科学学刊:英文版 年份:1990
In this paper the pressure-magneto-electric effect of Junction Field Effect Transistor(JFET)is discussed by using standard relaxation techniques.A theoretical eva...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:实验技术与管理 年份:2003
本文介绍一种用于科研及实验的油井注入液体流速检测装置,该装置模拟油田井管中液体流速状态,包括控温水箱、水管、水泵组、电磁流量计、温度传感器和控温显示电路等.经多次...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:黑龙江高教研究 年份:2002
本文探讨大学工科专业课教学改革与产学研相互依存、相互浸透、相互促进、相得益彰、相辅相成的关系和特点.这不但对高等院校理工科专业教师提高学术水平和教学质量有借鉴作...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:黑龙江大学自然科学学报 年份:1989
本文提出了一种应用于生物医学的小型化压力传感器的设计原理。据此,提出了一种有良好工作稳定性及噪声性能的力学量敏感器件——结型场效应力敏传感器,该压力传感器采IC技术...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:电子器件 年份:2006
设计了一种基于SOI衬底且由新型磁敏晶体管组成的磁敏测量电路。理论分析了n^+-π-n^+晶体管基区长度大于载流子有效扩散长度Leff时的磁灵敏度。该磁敏晶体管可应用于磁场的测...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:传感器技术 年份:1999
[期刊论文] 作者:温殿忠,, 来源:传感技术学报 年份:2007
设计了一种微泵硅膜振动拾振传感器.该传感器采用了非对称基区梳状温度补偿晶体管,并提出了恰当设计SiO2膜和Al膜的厚度对零点温度漂移有极小值是非常重要的.实验结果表明,本...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:传感技术学报 年份:2006
阐述了多层膜巨磁电阻自旋阀的设计原理和采用金属掩膜版磁控溅射的方法研制多层膜巨磁电阻自旋阀的工艺.制造的多层膜巨磁电阻采用[Co/Cu/Co]三重结构.同时分析了制备的Cu、Co纳......
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:传感技术学报 年份:1990
本文提出了一种非对称基区梳状温度补偿晶体管的设计原理,并给出了这种晶体管基极电阻比η的计算公式.理论分析与实验结果表明,采用本文给出的公式确定基极电阻比η,所设计的...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:中国激光 年份:2003
提出了一种激光与微电子机械加工系统 (MEMS)相结合刻蚀硅磁敏三极管发射区引线槽的方法。实验结果表明 ,利用这种新方法刻蚀的硅磁敏三极管发射区引线槽具有刻蚀速率大、质...
[学位论文] 作者:温殿忠, 来源:清华大学 年份:2000
该文通过对现行的公路测设方法进行分析,以数据采集、数据处理、数据存储、数据应用为结索,完成了测设过程的模块化分,各模块的基本功能分析以及系统各模块之间的关系模型建...
[会议论文] 作者:温殿忠, 来源:中国航空学会第一届小型发动机,第二届直升机动力与传动装置学术讨论会 年份:1995
[会议论文] 作者:温殿忠, 来源:中国航空学会(动力)第三届小发动机,中国航空学会(直升机)第三届动力与传动学术讨论会 年份:2000
WZ8A发动机功率偏低不能满足部队作战要求,军方想购买一批法国阿赫耶2C发动机以取代WZ8A.几年前从法国引进的WZ8A生产线将面临停产,蒙受巨大损失.随着阿赫耶2C发动机年年不断...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:仪表技术与传感器 年份:1988
本文给出了利用JEET压阻效应设计C型硅杯的结构,分析了JEET的压阻效应,使电流性压力灵敏度可达2.5%/10~6dyn/cm~2,提出了一种有良好工作稳定性和噪声性能的力学量敏感器件——...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:半导体技术 年份:1988
本文给出了条状非对称基区温度补偿晶体管的纵向参数、版图设计、确定基区电阻比的关系式以及这种结构的温度补偿晶体管基区电阻计算公式.实验结果表明,本文给出的条状结构非...
[期刊论文] 作者:温殿忠, 来源:中国激光 年份:1995
研究了Ar离子激光器与硅各向异性腐蚀技术相结合制造硅杯的方法。结果表明,激光照射能增强浸于KOH溶液中硅的化学腐蚀速率,在入射光强为4.6W,KOH溶液浓度为0.22mol,温度为90℃的条件下,得到<100>硅的腐蚀速率......
[期刊论文] 作者:温殿忠,, 来源:电子器件 年份:2006
设计了一种基于SOI衬底且由新型磁敏晶体管组成的磁敏测量电路。理论分析了n+-π-n+晶体管基区长度大于载流子有效扩散长度Leff时的磁灵敏度。该磁敏晶体管可应用于磁场的测...
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