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[期刊论文] 作者:罗宏洋,, 来源:电子工业专用设备 年份:2009
报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的......
[期刊论文] 作者:罗宏洋, 来源:电力系统装备 年份:2020
随着宁夏电网规模的不断扩大,宁夏750 kV电网主网架基本建成,宁夏地处中国西部黄河上游,海拔1000~3000m,处于东部季风区和西北干旱地区,北部以平原、沙漠区域为主,南部以山区...
[期刊论文] 作者:罗宏洋,汤辉,龙娟,, 来源:电子工业专用设备 年份:2009
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了......
[期刊论文] 作者:罗宏洋, 汤辉, 龙娟,, 来源:微细加工技术 年份:2002
介绍了一种新型的氧含量检测设备及其程序设计.描述了该设备中使用的监控程序设计算法,该算法吸收并改进了多种流行的监控程序编写算法,实践表明,该算法用于复杂菜单设计时可...
[期刊论文] 作者:孙勇,罗宏洋,龙娟, 来源:微细加工技术 年份:2004
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能.光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电...
[期刊论文] 作者:罗宏洋,孙勇,王玮琪,, 来源:电子工业专用设备 年份:2009
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软......
[会议论文] 作者:邹春艳,伍三忠,罗宏洋, 来源:第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份:2005
本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单片机控制的真空控制器可以完全......
[会议论文] 作者:邹春艳,罗宏洋,杨建生, 来源:中国电源学会全国电源技术年会(第17届) 年份:2007
本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计.测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠.......
[期刊论文] 作者:杨佳睿,李胜花,李波,马玉慧,贺志华,罗宏洋,陈炜, 来源:宁夏电力 年份:2021
随着我国电网的快速发展,2019年全球电压等级最高的±1100 kV吉泉线投入运行。为给特高压直流输电线路带电作业开展提供技术支撑,在高海拔地区通过点云逆向工程建立数字三维...
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