【摘 要】
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本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单片机控制的真空控制器可以完全实现以上设计要求,文中阐述了它的工作原理,主要硬件结构、Modbus现场工业总线协议的软件设计及抗干扰措施.
【机 构】
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中国电子科技集团公司电子第48研究所,长沙市,410111
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单片机控制的真空控制器可以完全实现以上设计要求,文中阐述了它的工作原理,主要硬件结构、Modbus现场工业总线协议的软件设计及抗干扰措施.
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