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[期刊论文] 作者：莫科伟,肖军,韩隽,,
来源：电子与封装 年份：2002
本文主要介绍了Intel式Flash memory单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了Flash叠栅自对准腐蚀对Flash性能的重要性....
[会议论文] 作者：陈志勇,彭力,莫科伟,
来源：中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会 年份：2002
本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法....
[期刊论文] 作者：莫科伟,刘丽艳,周彬,吴洪强,,
来源：电子与封装 年份：2002
本文主要介绍了0.5μm CMOS工艺中一些腐蚀模块的工艺....
[期刊论文] 作者：莫科伟,刘丽艳,吴洪强,周彬,,
来源：电子与封装 年份：2002
本文主要研究了polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后PITING的问题....
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