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[期刊论文] 作者：于威,李彬,郭少刚,詹小舟,丁文革,傅广生,,
来源：光子学报 年份：2012
采用对靶磁控反应溅射技术,以氢气作为反应气体在不同的氢稀释比条件下制备了氢化非晶硅薄膜.利用台阶仪、傅里叶红外透射光谱、Raman谱和紫外-可见光透射谱测量研究了不同氢...
[期刊论文] 作者：于威,詹小舟,李彬,徐艳梅,李晓苇,傅广生,,
来源：光子学报 年份：2012
以SiH4与H2作为前驱气体,采用射频等离子增强化学气相沉积技术制备了纳米晶硅薄膜.利用Raman散射和红外吸收光谱等技术,对不同氢稀释比条件下薄膜的微观结构和键合特性进行了...
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