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[学位论文] 作者:谷利元, 来源:中国科学院大学 年份:2018
成像椭偏仪是一种结合了椭偏测量技术与显微成像技术的测量仪器,它能够以高的空间分辨率完成对大尺寸样品的一次性参数测量。得益于这种优异的性能,成像椭偏仪已经广泛地应用在......
[期刊论文] 作者:谷利元,, 来源:科技展望 年份:2014
随着对外交流机会的增多,英语作为一门国际语言,已经引起国人的普遍重视。然而由于城市和农村的地域、教育条件差距,城市孩子从幼儿园开始就开始英语启蒙教育,而农村孩子往往...
[会议论文] 作者:谷利元,曾爱军,胡国行,贺洪波,黄惠杰, 来源:第十六届全国光学测试学术交流会 年份:2016
[期刊论文] 作者:张东方,谷利元,季育文,吴康良,李剑锋,, 来源:机车电传动 年份:2021
为实现铁路基础设施智能化管理运维,利用3D移动测量系统高效获取高精度点云数据,并对点云数据进行智能化处理。钢轨作为铁路基础设施中最基本的单元,是几何参数计算的基础,对其信息进行自动提取具有重要意义。因此,提出了一种基于3D移动测量系统点云数据的钢轨......
[期刊论文] 作者:李桂运, 谷利元, 胡敬佩, 朱玲琳, 曾爱军, 黄惠杰,, 来源:中国激光 年份:2004
基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅S...
[期刊论文] 作者:胡仕玉,曾爱军,谷利元,黄惠杰,胡国行,贺洪波, 来源:中国激光 年份:2015
提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法,在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应,利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响,得到表面等离子体共振吸收环垂直方向的归一......
[会议论文] 作者:谷利元,胡仕玉,曾爱军,程伟林,袁乔,胡国行,黄惠杰, 来源:第二届全国偏振与椭偏测量研讨会 年份:2016
[会议论文] 作者:胡仕玉,曾爱军,陈明星,程伟林,袁乔,谷利元,方瑞芳,黄惠杰, 来源:第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会 年份:2014
随着微电子技术的快速发展,薄膜应用领域越来越广,确定薄膜参数对于薄膜特性研究具有很大意义,而椭偏技术是测量薄膜参数最有效的方法之一,具有非破坏性、非接触性以及高测量...
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