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[学位论文] 作者:钱剑钊, 来源:合肥工业大学 年份:2012
对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机(CMM)由于测量系统的局限性往往只能测量微米或者亚微米级别的器件。作为三坐标测...
[学位论文] 作者:钱剑钊, 来源: 年份:2012
对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机(CMM)由于测量系统的局限性往往只能测量微米或者亚微米级别的器件。作为三坐标测量机最重要的部分,探头的精度能否达到纳米级别决定着整体三坐标测量机的精度级别。本论文......
[期刊论文] 作者:李瑞君,钱剑钊,龚伟,黄强先,, 来源:合肥工业大学学报(自然科学版) 年份:2011
DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的...
[期刊论文] 作者:黄强先,余惠娟,黄帅,钱剑钊, 来源:中国机械工程 年份:2013
根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问......
[期刊论文] 作者:李瑞君,范光照,钱剑钊,黄强先,龚伟,苗晋伟, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2012
[期刊论文] 作者:李瑞君,范光照,钱剑钊,黄强先,龚伟,苗晋伟, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2004
对微纳米三坐标测量机(CMM)高精度扫描探头的稳定性进行了分析.该扫描探头由带有球头的光纤探针、悬浮机构、二维角度传感器和微型迈克尔逊干涉仪4部分组成.光纤探针和悬浮片...
[期刊论文] 作者:李瑞君,范光照,钱剑钊,黄强先,龚伟,苗晋伟,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2012
对微纳米三坐标测量机(CMM)高精度扫描探头的稳定性进行了分析.该扫描探头由带有球头的光纤探针、悬浮机构、二维角度传感器和微型迈克尔逊干涉仪4部分组成.光纤探针和悬浮片...
[期刊论文] 作者:钱剑钊,黄强先,李瑞君,龚伟,王志伟,王晨晨,, 来源:传感技术学报 年份:2012
三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球...
[期刊论文] 作者:钱剑钊,黄强先,李瑞君,龚伟,王志伟,王晨晨,, 来源:传感技术学报 年份:2012
三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数.标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头...
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