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Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系,台湾大学机械工程学系
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2012年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2008AA042409）,国家自然科学基金资助项目（50875073）,安徽省教育厅高等学校优秀青年人才基金资助项目（2011SQRL179）.
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