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[期刊论文] 作者：陈小铎,
来源：电子工业专用设备 年份：1996
本文主要介绍了分步投影光刻机１０００Ｗ超高压汞灯电源及其控制线路的特点，采用三相全控桥整流滤波，可控硅进行电压粗调，在功率ＶＭＣＯＳ晶体管进行电流精调的恒流控制系统。......
[期刊论文] 作者：陈小铎,
来源：电子工业专用设备 年份：2000
论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。...
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