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[会议论文] 作者:陈玖香,张受业,陈强,
来源:第十五届全国等离子体科学技术会议 年份:2011
本文采用多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积(HC—PECVD)技术,以二氯硅烷(SiH.Cl.)和氢气(H:)分别作为硅源和还原剂制备微晶硅薄膜.通过傅里叶变换红外谱、拉曼散射谱和...
[期刊论文] 作者:陈玖香,王伟仲,程志贤,陈强,,
来源:北京印刷学院学报 年份:2013
采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断。研究发现离子密度(N.)可以达到10^11-10^12cm-1,而电子温度(Te)约在2eV......
[期刊论文] 作者:葛腾,陈玖香,张受业,施继龙,陈强,,
来源:真空 年份:2014
本文中,我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积(MHC-PECVD)在玻璃、表面溅射氧化铟锡(ITO)的玻璃(玻璃+ITO)以及表面溅射ITO的聚酰亚胺(PI+ITO)柔性衬底上沉积氢化微晶硅(μc-Si:H),研......
[会议论文] 作者:葛腾,陈玖香,姜鑫先,张授业,陈强,
来源:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份:2013
随着薄膜太阳能电池的兴起,微晶硅薄膜由于其较稳定的效率引起人们的广泛关注,而降低成本和提高效率是微晶硅薄膜电池发展应用的主要方向。在本文中我们采用空心阴极代替传统的电容耦合平板电极放电,利用等离子体增强化学气相沉积技术,以二氯二氢硅(SiH2Cl2)为前驱......
[期刊论文] 作者:张俊,许沛东,陈思远,高天露,戴宇欣,张科,赵杭,高杰迈,白昱阳,李金星,张浩然,李湘,陈玖香,
来源:智能科学与技术学报 年份:2022
当代系统认知、管理与控制的核心理论、方法与技术已经转移到大数据和人工智能技术上,这导致当前人工智能技术条件局限与复杂系统认知、管理、控制的需求之间形成了一道鸿沟。因此,现实的需求催生了人工智能的一种新型形态——人机混合增强智能形态,即人类智能与机......
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