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[学位论文] 作者：鞠挥,,
来源： 年份：2003
微小型化是当今科技发展的一个重要方向。本文首先介绍了微小光谱仪发展背景，国内外微小光谱仪的发展现状，总结了微小光谱仪的研究意义，分析了进行微小型化光谱仪研究的必要性。......
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：1999
低成本，微机械控制的惯性测量传感器已经稳步进入商业市场。通过地面和飞行测试对一些传感器进入军事应用的潜在性进行了评估。高ｇ冲击试验表明，有些传感器对低ｇ和高ｇ发射情况都有......
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：2000
硅微机械领域正在对诸如汽车、航空、蜂窝通信、化学、声学、显示技术以及光波系统等传统工业产生冲击.过去10年在这个领域的研究已经得到了许多宏观机械的微观模型.在超...
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：2001
由于对通信带宽要求的加速增长,开发全光网络已成为当务之急.实现全光网络的关键问题是如何用新式光开关来取代现用的开关,这是因为现用的开关是采用先将光信号转换为电信号,...
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：2002
微型片上生物工厂能够快速分析少量粒子,是应用于医学、生物细胞诊断学、化合物检测以及水质控制等领域的集成系统.这种装置利用粒子的介电特性,采用双向电泳的直流电动力现...
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：1999
众所周知，基于成本，性能，耐用性和优秀的机械性能及电特性，硅成为高性能微结构的基本材料，无数的市场调查和计划证实在过去２０年间硅有许多应用机遇。然而真正成功的商业机遇还有待于......
[期刊论文] 作者：鞠挥,
来源：光机电信息 年份：2003
无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力,许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS).实现目标的途径之一是设计出可集成无源器件的...
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,
来源：微纳电子技术 年份：2003
随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向.本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪...
[期刊论文] 作者：鞠挥, 吴一辉,,
来源：仪器仪表学报 年份：2001
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器 ,微加工技术的发展和 MOEMS技术的出现为其微小型化提供了可能性 ,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制...
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,
来源：光机电信息 年份：2001
生物芯片又称为基因芯片或DNA芯片,它的概念来自于计算机芯片,是电子学和生命科学结合产生的高科技杰作.生物芯片的诞生仅仅几年时间,但其发展速度之快却是惊人的,引起人们的...
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,
来源：光学精密工程 年份：2001
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱......
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,
来源：光机电信息 年份：2003
微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域,是当今科学技术最具潜力的发展方向之一,而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点.本...
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,等,
来源：微纳电子技术 年份：2002
硅是一种良好的近红外材料。硅光栅的发展迄今已有20多年历史，在制作方法和应用上都有了较大的发展。硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺，这些微加工方法在技术上与......
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一军,王立鼎,
来源：微纳电子技术 年份：2002
硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与...
[期刊论文] 作者：鞠挥,吴一辉,王立鼎,
来源：微纳电子技术 年份：2002
硅是一种良好的近红外材料。硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展。硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上...
[期刊论文] 作者：吴一辉,贾宏光,鞠挥,
来源：光学精密工程 年份：2001
用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法.本文从光-热-声波转换的基本原理出发,推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法,给出...
[期刊论文] 作者：吴一辉,贾宏光,鞠挥,
来源：光学精密工程 年份：2001
用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法。本文从光－热－声波转换的基本原理出发，推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法，给出了具......
[期刊论文] 作者：鞠挥,张平,王淑荣,吴一辉,
来源：光子学报 年份：2004
硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工艺可以制作在不同光谱波段内工作的闪耀光栅.设计了一种利用偏晶向...
[期刊论文] 作者：鞠挥,张平,王淑荣,吴一辉,
来源：微细加工技术 年份：2003
利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作.设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角...
[期刊论文] 作者：李锋,吴一辉,鞠挥,贺敏英,
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
针对微生化芯片样品量少、需要与微流体芯片集成等要求,设计了两种在芯片内用分光光度法,对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法.光探测部分是微型生化分析芯片的重要组成部分.原理性实验利用460～800 nm的可见光光源,采用了直接探测法和消逝波探测法对样品进行探......
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