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[期刊论文] 作者：张寅辉,任玲玲,高慧芳,贾亚斌,Fu Weien,刘小萍,
来源：计量学报 年份：2017
为了建立厚度为1 nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法,采用掠入射X射线反射技术进行国家/地区实验室间比对认证,其膜厚准确量值作为参比值,建立了HfO2超薄膜的光谱椭偏结构拟合模型。研究了HfO2超薄膜的光谱椭偏色散模型和拟合参数,最后确定了拟合色散模型为Ta......
[期刊论文] 作者：张寅辉,任玲玲,高慧芳,贾亚斌,Fu Weien,刘小萍,K,
来源：计量学报 年份：2017
为了建立厚度为1nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法，采用掠入射X射线反射技术进行国家／地区实验室间比对认证，其膜厚准确量值作为参比值，建立了HfO2超薄膜的光谱椭偏结构拟合模......
[期刊论文] 作者：张寅辉,任玲玲,高慧芳,贾亚斌,Fu Weien,刘小萍,K,
来源：计量学报 年份：2017
为了建立厚度为1 nm左右HfO2超薄膜的光谱椭偏测量方法,采用掠入射X射线反射技术进行国家/地区实验室间比对认证,其膜厚准确量值作为参比值,建立了HfO2超薄膜的光谱椭偏结构...
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