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[会议论文] 作者：张凤田,唐祯安,金仁成,余隽,江胜峰,
来源：第十一届全国实验力学学术会议 年份：2005
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传感器,可以测量微小气压.详细介绍了热传感器...
[期刊论文] 作者：江胜峰,金仁成,唐祯安,张凤田,高仁璟,
来源：中国机械工程 年份：2005
根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在...
[期刊论文] 作者：高仁璟，唐祯安，张凤田，王海霞，江胜峰，GaoRenjing,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：江胜峰，金仁成，唐祯安，张凤田，高仁璟，JiangSheng,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞,
来源：光学精密工程 年份：2004
给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理.分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的...
[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,高仁璟,江胜峰,
来源：半导体学报 年份：2005
研制了一种采用CMOS工艺和表面牺牲层技术加工的微热板式低气压传感器，该微热板为四臂支撑悬空矩形板，其边长为75μm，支撑桥长为60μm，板下气隙高度为0．5μm。采用经典傅里叶传热......
[会议论文] 作者：余隽[1]唐祯安[1]张凤田[1]陈正豪[2]王立鼎[1],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
本文设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真...
[期刊论文] 作者：郭文泰,金仁成,王海霞,高仁璟,张凤田,余俊,于耀东,张天超,
来源：传感器技术 年份：2004
组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。......
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