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[会议论文] 作者：傅宇东,郭在在,刘臣,孟祥龙,
来源：第十五届全国复合材料学术会议 年份：2008
研究目的是探索磁控溅射制备NiTiHfCu体系合金薄膜的工艺，掌握NiTiHfCu体系合金薄膜制作的工艺参数和合金成分与相变规律、形状记忆效应以及组织结构的关系。本文主要利用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了Ni-Ti-Hf-Cu形状记忆合金薄膜。对制备的薄膜采用扫描......
[会议论文] 作者：傅宇东[1]郭在在[2]刘臣[2]孟祥龙[3],
来源：第十五届全国复合材料学术会议 年份：2008
研究目的是探索磁控溅射制备NiTiHfCu体系合金薄膜的工艺，掌握NiTiHfCu体系合金薄膜制作的工艺参数和合金成分与相变规律、形状记忆效应以及组织结构的关系。本文主要利用直流...
[会议论文] 作者：傅宇东[1],王刚[1],刘臣[1],孟祥龙[2],
来源：2008哈尔滨市科学技术学术月 年份：2008
纳米Ni-Ti薄膜在微电子和微器件制造领域中具有广泛的应用前景,为了得到高质量的纳米薄膜。本文对直流磁控溅射法制备Ni-Ti薄膜工艺进行了研究。采用单晶硅和玻...
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