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[期刊论文] 作者：邱清泉, 励庆孚, 苏静静,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
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[期刊论文] 作者：邱清泉,励庆孚,苏静静,Jiaoyu,Finely Jim,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
薄膜厚度沿矩形靶长度方向分布的均匀度是衡量矩形平面磁控溅射装置镀膜质量的重要指标。为了分析气压和靶基板间距对该指标的影响，本文采用Monte Carlo方法，在假设靶材沿跑道...
[期刊论文] 作者：邱清泉,励庆孚,苏静静,Jiao Yu,Finely Jim,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
薄膜厚度沿矩形靶长度方向分布的均匀度是衡量矩形平面磁控溅射装置镀膜质量的重要指标。为了分析气压和靶基板间距对该指标的影响,本文采用Monte Carlo方法,在假设靶材沿跑...
[期刊论文] 作者：邱清泉,励庆孚,苏静静,焦余,FINLEY Jim,,
来源：Plasma Science and Technology 年份：2008
Plasma properties in a planar DC magnetron system are simulated by a non-self-consistent particle method in two dimensions.Through tracing the trajectories of...
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