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[会议论文] 作者:喻利花;薛安俊;许俊华;, 来源:第十七届华东六省一市热处理年会 年份:2010
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用高温摩擦磨损仪测试其摩擦磨损性能性能,通过能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜、超景深光学显微镜和...
[期刊论文] 作者:喻利花,薛安俊,董松涛,许俊华,, 来源:物理学报 年份:2010
采用射频磁控溅射法制备了NbN,AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明:...
[期刊论文] 作者:喻利花,薛安俊,董松涛,许俊华,, 来源:材料热处理学报 年份:2010
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-A...
[期刊论文] 作者:董松涛,喻利花,薛安俊,许俊华,, 来源:材料热处理学报 年份:2010
采用射频磁控溅射方法制备了单层TiAlN、CrAlN复合薄膜以及不同调制周期和不同层厚比(lTiAlN/lCrAlN)的TiAlN/CrAlN纳米结构多层膜。薄膜采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、...
[期刊论文] 作者:汪蕾,董师润,尤建飞,喻利花,李学梅,许俊华,, 来源:材料热处理学报 年份:2010
采用非平衡反应磁控溅射的方法在Si(100)基片上沉积Ti(C,N)复合膜和不同调制周期、调制比的TiN/Ti(C,N)纳米多层薄膜。薄膜的微观结构和力学性能采用X射线衍射仪(XRD)、显微...
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